毛细管传感器

     与MEMS传感器一样，毛细管传感器也是采用层流元件来产生压差，使小部分流量进入旁路管道。而主要区别在于：毛细管传感器不与介质直接接触。两个温度相关的电阻缠绕在不锈钢毛细管上，构成半个惠斯顿电桥。当气体流过毛细管时，就会带走一部分热量，流向为从R₁ 至R₂.这时，R₁ 的阻值下降，而R₂的阻值 上升。如果给电桥提供恒定的电流，其输出电压就与这两个电阻的差值成正比。因此该输出电压与流过的气体的质量流量成线性关系。其线性关系甚至使该传感器可用于未经标定的气体；通过采用一个转换因子当前因子对当前介质的测量进行修正。这样就可简化标定，同时正确选择传感器材质可确保毛细管传感器适用于腐蚀性气体。

    该传感器的动态特性取决于不锈钢毛细管的管壁特性，它起着热障的作用。的响应时间通常为几秒，适用于大多数腐蚀性或毒性气体。